国产制冷剂
R116制冷剂
- 发布时间：2019-03-14 10:31
- R116(六氟乙烷，C2F6)可用于一种具多功能的蚀刻技术，常见于半导体之生产。它可用于金属硅化物及金属氧化物并相对其金属基质的选择性蚀刻。
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R116(六氟乙烷，C2F6)可用于一种具多功能的蚀刻技术，常见于半导体之生产。它可用于金属硅化物及金属氧化物并相对其金属基质的选择性蚀刻。叧外，它亦用于蚀刻硅上的二氧化硅。R116可与R23(三氟甲烷)一起用于配置制冷剂R508A(R116占61%)及R508B(R116占54%)。
R116制冷剂参数
| 名称：R116、FC-116 | 中文名称：六氟乙烷，电子级氟碳，全氟乙烷，氟里昂116 |
| 英文全称：hexafluoroethane | 化学分子式：CF3CF3、C2F6 |
| 分子量:138 | 标准沸点：-78℃ |
| 临界温度:20℃ | 临界压力：3MPa（绝压） |
| 临界密度：0.613g/cm3 | CAS编号：76-16-4 |
